真空系統是真空熱處理爐的重要組成部分，主要由真空獲得設備（真空泵機組）、控制真空組件和測量真空組件所組成，關系到設備的熱處理效果。很多人對于它的真空處理的原理以及工作過程還都不是很了解了，所以通過了解真空系統的組成就能獲得很大的提示。
1）真空泵機組。根據爐子工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。
2）真空組件或元件。在真空熱處理爐體和真空泵機組之間配備的各種真空組件或真字元件，如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和閥門等。
3）真空測量系統，如真空規管、真空壓力表和其他真空測量儀表。
4）真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。
真空系統關系到真空熱處理爐的加工效果，所以對于真空系統也是有很多要求的，比如能迅速地將爐的真空度抽到規定的要求，能夠運行安全可靠，操作簡便等。
